特点:
1.特殊的主轴及冷却方式,使被加工基片的表面热应力更小,平整度更好,能有效的降低损伤层。
2.由于磨削速度快,过去一部分习惯于双面研磨的产品可更改工艺,采用A-B面翻面磨削,工效可提高数倍。且精度提高,工件表面干净,减少料损耗。
1.5英寸多工位吸盘
三工位4、5英寸吸盘
单工位4、5、6、8英寸吸盘